| D160電磁弧鍍膜設備 NH-ARCS系列 | |||
|---|---|---|---|
| NH-ARC850TES | NH-ARC1000TES | NH-ARC1100TES | |
| 真空室尺寸 | D850X900 | D1000X1100 | D1100X1200 |
| 均勻可鍍區(qū) | D500XH500 | D650XH650 | D780XH780 |
| 極限真空度 | 3.0*E-4Pa | ||
| 壓升率 | 0.1Pa/hr | ||
| 轉架形式 | 標配兩套轉架系統(tǒng)+周轉小車 采用整進整出形式 | ||
| 沉積裝置 | D160永磁+線圈電弧 | ||
| 離子輔助裝置 | N-IGET弧離子刻蝕+燈絲離子源 | ||
| 真空檢測 | 復合真空計+薄膜真空規(guī) | ||
| 加熱系統(tǒng) | 500℃，3根熱電偶監(jiān)測 | ||
| 冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開關，智能控制 IPC+PLC全自動控制 | ||
| 控制系統(tǒng) | 觸摸式 手動 全自動 帶自動暖機 智能無人值守關機聯動系統(tǒng) | ||
| 生產運行周期 | 涂層(3um),5-6小時/爐 | 涂層(3um), 6-8小時/爐 | 涂層(3um), 6-8小時/爐 |
| 極限載重 | 300KG | 500KG | 800KG |