臥式ONINE-LINE磁控連續(xù)線(NH-MGLX系列)
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NH-MGLX5000TEL
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鍍膜區(qū)域
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高1500*寬2000
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結(jié)構(gòu)
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采用高效的臥式連續(xù)磁控鍍膜流水線,配備前后粗抽室, 前后過(guò)渡室,前后精抽室,前后緩沖室,彩鍍室。
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靶材設(shè)計(jì)
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采用新型旋轉(zhuǎn)陰極靶材以及平面陰極靶材
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電源系統(tǒng)
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配備大功率中頻磁控濺射電源
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真空室結(jié)構(gòu)
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立式單門(mén),整體箱式布局
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真空系統(tǒng)
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擴(kuò)散泵(分子泵)+羅茨泵+機(jī)械泵+深冷泵
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水壓流速
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≥0.2Mpa 3m3/h;水溫≤25℃;氣壓:0.4-0.8Mp
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極限真空
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3.0×10-2Pa
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一般規(guī)格
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W1200mm*L2000mm(單室) W1500mm*L2400mm(單室)
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真空室尺寸
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真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
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控制方式
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手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)—體化/觸摸屏+PLC
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充氣系統(tǒng)
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MFC或APC自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀
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